單晶石墨熱場的關(guān)鍵部件
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發(fā)布時(shí)間：2025-09-01 03:07:30
單晶石墨熱場的要害部件
石墨坩堝：一般選用三瓣式規(guī)劃，防止硅液泄露，使用壽命可達(dá)30-50爐次。
加熱器：由等靜壓石墨制成，支撐2000℃以上安穩(wěn)加熱，為單晶成長供應(yīng)足夠熱能。
隔熱體系：由多層石墨氈或碳纖維復(fù)合材料構(gòu)成，熱反射率≥90%，可下降能耗20%-30%。
導(dǎo)流筒：優(yōu)化熱場氣流散布，提高熱場均勻性。
維護(hù)部件：在爐底、金屬電極、托桿等位置設(shè)置維護(hù)板或維護(hù)套，防止漏硅及機(jī)械損害。
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