?半導(dǎo)體工業(yè)燒結(jié)用石墨模具材料的選擇

?半導(dǎo)體工業(yè)燒結(jié)用石墨模具材料的選擇燒結(jié)用石墨模具

由于高純石墨具有耐高溫、純度高、高溫下尺寸穩(wěn)定、耐熱沖擊性能好等特點(diǎn)，所以在半導(dǎo)體工業(yè)中廣泛采用高純石墨制作各種燒結(jié)模具。

(1)電子器件燒結(jié)用石墨模具。石墨燒結(jié)模適用于各種類型的二極管、三極管、可控硅管等器件的管心燒結(jié)，圖為部分燒結(jié)模具實(shí)例。采用高頻爐區(qū)熔法拉制單晶時(shí)，還采用石墨舟(見(jiàn)圖2-4）。

（2）各種絕緣子燒結(jié)模具。石墨模適用于各種類型的三極管、硅整流管、可控硅管座的燒結(jié)，電容器絕緣子燒結(jié)，厚膜及薄膜集成電路絕緣子燒結(jié)，超小型繼電器、接插件等元件絕緣子燒結(jié)模具等，圖2-5為部分可控硅管和各種絕緣子燒結(jié)模具。

半導(dǎo)體工業(yè)用石墨模具材料的選擇

半導(dǎo)體工業(yè)對(duì)所用石墨材料要求其純度越高越好，特別是直接與半導(dǎo)體材料接觸的石墨器件

如坩塌、燒結(jié)用石墨模具等，雜質(zhì)含量多會(huì)污染半導(dǎo)體材料，因此不但對(duì)所用石墨原材料的純度要嚴(yán)加控制，而且還要經(jīng)高溫石墨化處理，使其灰分降到最低程度。

半導(dǎo)體工業(yè)要求所用石墨材料顆粒度要細(xì)，顆粒度細(xì)的石墨不但容易達(dá)到加工精度而且高溫強(qiáng)度高、損耗小，特別是燒結(jié)用石墨模具要求加工精度很高。因?yàn)榘雽?dǎo)體工業(yè)所用的石墨器件(包括加熱器和燒結(jié)模）都需要承受反復(fù)加熱和冷卻過(guò)程，為了提高石墨器件的使用壽命，要求所用石墨材料在高溫下具有良好的尺寸穩(wěn)定性和耐熱沖擊性能。為了滿足上述各項(xiàng)要求，目前我國(guó)生產(chǎn)了一系列適用于半導(dǎo)體工業(yè)所使用的石墨材料，其部分牌號(hào)和性能列于表