石墨制品半導(dǎo)體工業(yè)燒結(jié)用石墨模具材料的選擇
石墨制品半導(dǎo)體工業(yè)燒結(jié)用石墨模具資料的挑選
燒結(jié)用石墨模具由于高純石墨具有耐高溫、純度高、高溫下規(guī)范安穩(wěn)、耐熱沖擊功用好等特征，所以在半導(dǎo)體工業(yè)中廣泛選用高純石墨制作各種燒結(jié)模具。
(1)電子器材燒結(jié)用石墨模具。石墨燒結(jié)模適用于各種類型的二極管、三極管、可控硅管等器材的管心燒結(jié)，圖為部分燒結(jié)模具實(shí)例。選用高頻爐區(qū)熔法拉制單晶時(shí)，還選用石墨舟(見圖2-4）。
（2）各種絕緣子燒結(jié)模具。石墨模適用于各種類型的三極管、硅整流管、可控硅管座的燒結(jié)，電容器絕緣子燒結(jié)，厚膜及薄膜集成電路絕緣子燒結(jié)，超小型繼電器、接插件等元件絕緣子燒結(jié)模具等。
石墨制品半導(dǎo)體工業(yè)用石墨模具資料的挑選
石墨制品半導(dǎo)體工業(yè)對所用石墨資料要求其純度越高越好，特別是直接與半導(dǎo)體資料接觸的石墨器材
如坩塌、燒結(jié)用石墨模具等，雜質(zhì)含量多會(huì)污染半導(dǎo)體資料，因此不光對所用石墨原資料的純度要嚴(yán)加控制，而且還要經(jīng)高溫石墨化處理，使其灰分降到最低程度。
半導(dǎo)體工業(yè)要求所用石墨資料顆粒度要細(xì)，顆粒度細(xì)的石墨不光簡略抵達(dá)加工精度而且高溫強(qiáng)度高、損耗小，特別是燒結(jié)用石墨模具要求加工精度很高。由于半導(dǎo)體工業(yè)所用的石墨器材(包含加熱器和燒結(jié)模）都需求承受重復(fù)加熱和冷卻進(jìn)程，為了行進(jìn)石墨器材的運(yùn)用壽數(shù)，要求所用石墨資料在高溫下具有杰出的規(guī)范安穩(wěn)性和耐熱沖擊功用。為了滿意上述各項(xiàng)要求，目前我國出產(chǎn)了一系列適用于半導(dǎo)體工業(yè)所運(yùn)用的石墨資料。
