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石墨熱場的性能優(yōu)勢
耐高溫性：石墨熔點(diǎn)達(dá)3650℃，可在真空或惰性氣體環(huán)境中長期安穩(wěn)工作，習(xí)慣極端高溫條件。
化學(xué)安穩(wěn)性：耐酸堿腐蝕，避免與熔融硅反應(yīng)生成碳化硅雜質(zhì)，滿足半導(dǎo)體級硅材料純度要求。
導(dǎo)熱與機(jī)械強(qiáng)度：抗壓強(qiáng)度≥80MPa，兼具導(dǎo)電性與結(jié)構(gòu)安穩(wěn)性，適配大尺寸單晶爐（如36英寸以上硅棒出產(chǎn)）。
本錢效益：石墨資源豐富，加工本錢低于鎢鉬等金屬材料，且使用壽命長，降低概括出產(chǎn)本錢。
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