高純石墨燒結盤具有許多明顯優(yōu)勢，在多個工業(yè)范疇發(fā)揮著重要作用，以下從特性、使用場景、制備工藝及外表處理等方面打開介紹：
特性
    高純度與高安穩(wěn)性：碳含量超過99.99%，在2000℃以上仍能保持結構安穩(wěn)，熱膨脹系數(shù)低至4.3×10??/K，保證高溫環(huán)境下尺寸精度。
    卓越導熱與導電性：導熱系數(shù)高達120-195W/(m·K)，導電性比非金屬礦高百倍，適用于需求高效熱傳導或電學功能的場景。
    耐腐蝕與抗氧化：常溫下耐酸堿腐蝕，高溫抗氧化功能經(jīng)過外表涂層（如碳化硅）可進一步提高，延長使用壽命。
    自潤滑與低摩擦：層狀結構賦予其自潤滑特性，摩擦系數(shù)低至0.05-0.1，削減磨損并降低能耗。
    高精度加工性：可加工至平面度<0.1μm，滿意12英寸晶圓加工需求，適用于半導體等精密制作范疇。
使用場景
    半導體制作：作為晶圓加工基板，支撐3nm芯片制作，經(jīng)過梯度燒結技能優(yōu)化層間應力，提高彎曲強度至450MPa。
    高溫燒結與熱處理：用于金屬熔融澆鑄、陶瓷燒結等工藝，承受高溫無變形，保證產(chǎn)品一致性。
    航空航天：使用于航空發(fā)動機葉片制作，在1600℃環(huán)境下壽命延長400小時，滿意極點工況需求。
    新能源范疇：適用于電池資料燒結，其高純度與化學安穩(wěn)性可防止雜質(zhì)引進，提高電池功能。
制備工藝
    原料選擇與提純：選用天然石墨或人造石墨，經(jīng)過浮選、堿酸法、氫氟酸法等工藝將碳含量提純至99.99%以上。
    高溫燒結：在2000℃以上真空或慵懶氣氛中燒結，構成高度有序的晶須結構，增強機械強度與熱安穩(wěn)性。
    脫碳處理：在高溫無氧環(huán)境中去除殘留雜質(zhì)，進一步提高純度與化學安穩(wěn)性。
外表處理
    碳化硅涂層：構成致密、耐磨損、高耐腐蝕的涂層，延長使用壽命并實現(xiàn)高純度外表結構。
    鍍層與化學處理：增加耐磨性、防腐性，提高在高溫高壓環(huán)境下的安穩(wěn)性。